一:概况
气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子、泵体、冷却器等组成,转子在泵腔内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔,使泵不会因压缩气体而出现过热,但对泵的抽气性能没有任何影响。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。
气冷泵的转子采用渐开线的线型结构,转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的专利结构,气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行,既可单独使用,也可多台串联使用,或与其他真空泵组成机组,达到更高真空度来满足各类工艺要求。
二、主要特点
●单独使用时直排大气的工作真空度可以达到150mbar。
●多级串联或和其它前级泵泵串联后可以达到中真空范围。
●特殊专利结构确保泵在高压差和高压缩比运行时不会过热过载。
●三叶渐开线型线结构和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。
●先进的平衡式机械密封使泵的密封性能比传统骨架密封更可靠。
●罗茨真空泵泵腔为无油结沟,适用于抽除一般空气及各种特殊气体。