伴随着科技的发展,现在干式真空泵也在各行各业有很广泛的作用,而且干式真空泵结构简单,维修起来也很方便,所以受到了很多行业的喜爱,那么它的应用领域都有哪些呢?下面就给大家介绍一下。
一、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中
因为HCI等极易溶解于水,所以如果用传统的真空泵将无法很好地回收和分离反应的尾气,更严重的是,HCI溶解于水之后是强酸,能快速溶解腐蚀金属的容器和器材,严重减低设备的使用期限,加大生产的成本,增加设备的生产周期。而应用了干式真空泵之后,因为干式真空泵不需要水,所以就很好地解决了HCI溶解于水而腐蚀设各地问题,从而减低了生产成本,提升了生产效率。
二、半导体刻蚀工艺
在半导体刻蚀工艺中,虽然加热到393k的高温干燥,但是其水分还会留在空气中,也会影响刻蚀工艺的效果,所以需要在真全环境下进行,而传统的真空泵有不可避免地引入了油和部分水,因此这个真空环境的创造最好的选择就是用干式真空泵进行抽气。
三、电子和半导体行业
在造纸工业用真空泵进行脱水又是真空泵用途的一个重要的运用。而且厂家也可以在纸张生产和印刷过程中提供最合适的真空解决方案。
四、电力变压器和真空领域
部件或在组装和绕组接线之后的整个内定子,在真空状态下浸渍绝缘漆成为整体的绝缘处理工艺。电力变压器的真空干燥、变压器的真空注油、环氧树脂浇注干式变压器、电抗器、互感器、高压开关绝缘子的生产,还可以用于需要环氧树脂包封的电力、电子元件的真空浇注成型。
五、食品包装行业
吸塑成型和塑料挤出机除气,在塑料生产过程中,热塑型塑料在挤出机内熔化,并在螺杆挤出部分进行除气,将熔化物中的气体和蒸气排出,以获得理想的热塑性塑料设备,具有更高的强度和更加好的绝缘性能。氯乙烯气体的抽取和压缩,在PVC生产过程中,氯乙烯气体在自动高压反应釜的压力下得到聚合,形成聚合PVC。同时所产生的气体被抽出、压缩和液化。
六、医药化工领域
现在中国的医药化工行业排污非常严重,一些含有贵重原料的溶液,由于回收困难,往往被当成废料排泄,这不仅造成了极大的污染,破坏环境,还使原料浪费,也大大增加了资源的消耗,对长期的发展起了阻碍作用。而干式真空泵由于不会引入水和油等杂质,所以可以很好地制造真空环境,让含有原料的化工医药原料分离的同时不会降低甚至可以帮助提纯原料,从而达到回收原料,降低成本的效果。
伴随着科技的发展,一些工艺对清洁度的要求也是越来越高的。针对于无油的干式泵来讲,在二十~30年前就有过专门的设计,主要是针对于发展核工业的需求提出的。实际上作为干式泵直接向大气中排气,泵腔内不得用任何液体来密封其内漏,并且泵的压缩比要高达106,能设计出一种新的抽气工作原理的干式泵确实是一件不容易的事,就现阶段看来,所有的干式真空泵质量还是很好的。