适用于化学工业的干式真空泵有哪些?

　　早期的干式泵是由罗茨型多级转子或爪型多级转子串联而成，它们与泵腔内没有接触，用同步齿轮驱动两个平行的转子轴，由于泵腔内没有液体，因此内部间隙应尽量保持很小，以减少气体返流。但这一微小的间隙对过程颗粒的堆积非常敏感，目前解决这一问题的方法是：将惰性气体从泵的入口中充入，或用惰性气体稀释可凝固的腐蚀气体。

　　在半导体行业应用的成功，也激励了干泵制造商将其引入化工行业，尽管干泵价格昂贵，但操作成本较低，特别是不存在废液处理问题，这有利于环境和健康。现在干泵有很多种类型，包括涡旋泵，隔膜泵，干旋片泵，罗茨型干泵，爪式干泵和螺旋真空泵。罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆式真空泵在化工行业应用中占主导地位。

　　一、圆柱型干泵

　　罗茨型干泵是化工行业广泛使用的一种较大的干式真空泵。该泵是由三层三叶型罗茨转子串联而成，它们安装在同一根轴线上，各个转子之间由中段隔开，形成各个级别的泵腔，上一级的排气口与下一级的进气口串联，各个级别的排气口串联进行抽气。所有级别的转子直径和形状都相同，所有级别转子的宽度朝高压侧方向变窄，但这种设计都要求级间冷却，也就是，所有级别的转子经过热交换器冷却后，再进入下一级别的入口。

　　二、干爪泵

　　爪式泵已于1930年进行了研究，并首次应用于压缩机工业，爪式转子具有高压高压缩比的特点。爪式转子还有两种功能：一种是用于截获、输送和压缩气体，另一种类似于阀门，用于在适当的时候开启和关闭吸气和排气。现有此类泵的结构设计多采用一级罗茨转子与三级爪式转子串联，以罗茨转子为高真空级，以爪式转子为压缩排气级。

　　三、螺旋真空泵

　　螺旋真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，具有抽速范围宽，结构简单紧凑，泵腔内无摩擦组件，能耗低，无废液排放，操作成本低等诸多优点，被广泛应用于半导体、光电、化工、医药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。

　　螺旋真空泵工作原理：螺旋机构由一对同步齿轮驱动，螺杆反向旋转，螺旋机构在螺旋机构和螺旋机构之间，螺旋机构和泵腔之间有一定的间隙，无金属接触。这样螺杆在转动的过程中就会从进气口被吸进和排出。

　　相对于罗茨型干泵和爪式泵，螺杆式真空泵抽气距离短，不受干扰，能快速排出，从而使泵中的微粒杂质不易积聚。

　　此外，因为大多数螺杆真空泵用于抽除腐蚀性或危险气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或锈蚀，并延长泵的使用寿命，可根据不同用途采用下列不同涂层：

　　液体环形泵结构简单，运动部件少，操作、维修方便，价格也比较低廉。螺旋真空泵虽然价格较高，但其性能非常优越，运行费用较低，不会产生废液，既节能又环保。因此，以上两种真空泵最适合在化工过程中使用。