2021螺杆真空泵火了，半导体行业是幕后推手

得益于半导体行业的井喷式发展，螺杆真空泵成功“上位”，火起来了！

经历了 20 世纪 70 年代由美国转向日本，以及 20 世纪 80 年代转向韩国和中国台湾，目前半导体产业正在经历向中国大陆的第三次转移。目前，中国拥有具有全球规模的，且增长迅速的集成电路消费市场。受益于庞大的消费市场以及国家产业政策的大力支持，国内集成电路制造企业均加大在中国大陆的投资以扩张产能。

干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程。

半导体产品制造过程中所需的真空系统，需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等功能，因此干式螺杆真空泵是非常好的选择。

（半导体行业真空泵应对制程）

干式真空泵应用于半导体行业的关键优势在于：
1.消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.它是完全干燥的，对上下游工艺没有任何污染
4.干式真空泵中不会发生任何腐蚀
5.效率更高，耗电更少
6.吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收

好凯德Hokaido的RKB/RKD干式螺杆泵，TURBO-M系列分子泵，是专为半导体行业设计的真空泵。

RKB/RKD干式螺杆泵，具有运转功率低，噪音低，抽速快等特点。
·可依制程/环境需求选用水冷，气冷及防爆马达
·气冷马达机型可搭配自循环冷却系统，能使用在无冷却水系统的环境
·可依不同需求选配鲁式泵浦，抽气速率最大可达3500m³/h

TURBO-M系列分子泵
·抽速介于10-2700升/秒
·较高的性价比和灵活的安装方式
·高抽速不受高负荷或杂质气体侵入影响

以上是好凯德用于半导体行业的干泵和分子泵的简单介绍，需要了解更多，请联系好凯德。