法国Alcatel阿尔卡特真空泵,是一个国际性的真空泵品牌,为客户提供真空泵、检漏仪、真空计以及微加工系统等。阿尔卡特的机械泵(油润旋片泵、干式真空泵)广为人知,抽速从0.5L/S到30L/S,广泛应用于捡漏、冷冻干燥、化工分馏、微电子工业、分析仪器、冰箱空调生产线等各种行业。
(阿尔卡特2005真空泵)
阿尔卡特Alcatel的干式真空泵,在半导体工业中的应用是深入人心的。其分为三个级别,H型针对非常苛刻的工艺;P型针对中等工艺;LM型,针对干净的工艺。具有体积小,占地面积小,使用成本低,高抽速以及高极限压力,在苛刻的环境下,具有出色的运行效果。
这几年,随着国产真空技术和结构升级,作为国产真空泵的代表之一,好凯德干式真空泵在半导体行业中的应用广度和深度有很大提升。
(好凯德干式真空泵)
好凯德干式真空泵应用于半导体行业的关键优势在于:
1.消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.它是完全干燥的,对上下游工艺没有任何污染
4.干式真空泵中不会发生任何腐蚀
5.效率更高,耗电更少
6.吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
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