集成电路罗茨真空泵好凯德Hokaido超高真空度罗茨泵

可应用于：真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏等领域。

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德国好凯德Hokaido 高真空度罗茨泵集成电路罗茨真空泵

产品特点

气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子，泵体冷却器等组成，转子在泵胶内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何形晌。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。气冷泵的转子采用渐开线的线型结构．转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的专利结构，气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，既可单独便用，也可多台串联使用，或与其他真空泵组成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。
特点：
·单独使用时直排大气的极限真空度可以达到150mbar。
·多级串联或与其它前级泵串联可以达中真空范圈。
·特殊专利结构确保泵在高压差和离压缩比运行时不会过热和过载。
·三叶渐开线型线结沟和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。
·先进的平衡式机械密封使泵的密封性能比传统骨架密封更可靠。
·泵胶为无油结沟．适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
广泛应用于：真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。

RVQ 系列罗茨真空泵 Roots Vacuum Pump
型号Model	50HZ	RVQ0540	RVQ1100	RVQ2200	RVQ4300	RVQ9000	RVQ14000	RVQ18000	RVQ36000
额定流量 Rated airflow	m³/h	540	1100	2200	4300	9000	14000	18000	36000
额定流量 Rated airflow	L/S	150	300	600	1200	2500	3750	5000	10000
极限压力 Ultimate pressure	Pa	15000
配用功率Power	kw	3-18.5	5.5-37	7.5-75	11-132	22-280	30-400	37-500	55-1000
转速Nominal speed	rpm	2900		1460	1470	980	1470	980	1470
进气口Suction	mm	125		250	300	350	350	400	500
排气口Discharge	mm	125		250	300	350	350	400	500
最大耗水Maxwaterconsumption	L/h	3500	6000	9000	15000	28000	35000	45000	6000
泵头重量Weight	kg	300	300	600	1200	2300	2300	3200	5000
注：泵的电机功率及冷却器面积是根据工作压差决定的,不同的压差可配置不同的电机及冷却器。 Note: the motor power and the cooler area of the pump is designed in accordance with the operating pressure differential, where the various pressure differential can be configured with different motor and cooler.