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启动时间:<10min
抽气速率:800L/s
极限压强:5×10-7 Pa
最大前级压力:100Pa
电机转速:24000r/min
启动时间:<10min
抽气速率:1400L/s
极限压强:5×10-7 Pa
最大前级压力:100Pa
电机转速:24000r/min
启动时间:<1...
抽气速率:1400L/s
极限压强:5×10-7 Pa
最大前级压力:100Pa
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抽气速率:2000L/s
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启动时间:<1...
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最大前级压力:100Pa
电机转速:24000r/min
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