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干式真空泵抽除易燃易爆及腐蚀性介质怎么办？
干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用和发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。抽除易燃易爆及腐蚀性介质怎么
2020-08-14 02020-08-14 阅读量：0 -
干式螺杆真空泵
一、好凯德干式螺杆真空泵特点和组成：1.高压段抽速快；2.能耗可降低30%；3.自循环冷却系统，能使用在无冷却水的系统环境；4.可提供符合ATEX标准的产品。二、好凯德干式螺杆真空泵产品应用：1.真空镀膜、真空焊接、电子束焊接、显示器和玻璃镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等2.单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等3.真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等4.太阳能、薄膜太阳能、晶硅太阳能、耐磨涂层技术等
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