无油爪式真空泵在半导体工业应用的优势

爪式真空泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些优势和特点：1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，电气监控及报警装置；6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑；